工研院量測技術發展中心-112年度中心研發成果公告
發佈日期 : 02.19.2024
工研院量測技術發展中心執行經濟部科技專案計畫，為使業者分享政府委辦計畫之研發成果，特公開112年度各項技術成果及可移轉技術，歡迎洽詢合作。
工研院量測技術發展中心執行科技專案112年度成果：
聯絡窗口：黃經理 03-5732262
|
順序 |
研發成果名稱 |
計畫名稱 |
|
1 |
半導體GAA製程前段X光CD量測設備 |
半導體2 nm製程前段X光量測設備開發與驗證(1/1) |
|
2 |
端點尺寸量測系統擴建 |
智慧機械產業智慧化線上計量標準建置計畫 |
|
3 |
SiC材料缺陷快速檢測技術 |
工研院創新前瞻計畫 |
|
4 |
無機物陰離子成分分析量測技術 |
國家度量衡標準實驗室運作與發展計畫 |
|
5 |
太陽光電案場自動化無人載具自動化熱異常擷取定位檢測技術 |
太陽光電發電設備高值化推廣服務計畫(1/3) |
|
6 |
數位查證平台帶動產業減碳轉型 |
工研院創新前瞻計畫 |
